(1)便携性:许多氦检漏不仅灵敏度高，而且便于携带，为野外作业和高空作业提供了很大的便利。

(2)高压强下检漏:检漏口的压力可高达数百帕，对于检测大系统和泄漏工件非常有用。

(3)高度自动化：氦峰自动标定，零点自动调整，量程自动转换，数据自动处理，可外接打印机。全机由微电脑控制，具有选菜功能，一键完成全检漏过程。

(4)完全无油的干式检漏:一些地方生产的检漏仪可以采用干式泵，达到无油蒸汽的效果，为无油系统、晶片等半导体器件的检漏提供了有利条件。

1.氦检漏的功能可以满足检漏的要求。如果有些仪器没有反流检漏功能，则不适用于吸枪方法的检漏；有些仪器没有设置报废漏率的功能，不适合用于批量产品的检漏；流水线需要一定的检漏速度，此时，应选择带有双工位的检漏器。

2.仪器的灵敏度可以满足检漏的要求。不同类型的氦质谱检漏器在国内外生产的灵敏度不同。如果检漏要求的灵敏度高，我们应该仔细选择。

3.被检件不能受油污染，那么可以选购无油真空系统检漏仪。

4.如果被检件体积较大，则必须选择抽泵抽速大的检漏仪，否则需要加预抽泵。

5.如被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，应选用功能齐全、灵敏度高、检漏范围宽的检漏仪器。

6.检漏地点不固定，需经常搬运氦气质谱检漏仪时，应选用小型便携式仪器。

7.氦检漏的价格是否低，操作是否简单，维修是否方便等问题，在满足上述检漏基本要求的基础上，也要综合考虑。